2022 한국분말재료학회 춘계학술대회

3월 31일 (목요일)

Symposium 4 - 디스플레이용 스퍼터 타켓 소재 및 응용 I

좌장 : 박은수(EML)

09:30~11:10

C1-1

09:30~09:50

디스플레이 및 반도체 스퍼터링 타겟용 고순도 Ti 빌렛 제조를 위한 진공유도용해 공정기술 개발

최진주, 최상훈, 이찬기, 김지원(고등기술연구원)

C1-2

09:50~10:10

Mo계 비정질 합금 타겟 제조 및 그 박막의 특성 연구

노구원((주)이엠엘), 이찬재(한국전자기술연구원), 박은수, 이주호, 이한찬((주)이엠엘)

C1-3

10:10~10:30

마이크로-나노 혼합 Mo 분말의 소결 특성 연구

박천웅, 김희연(한양대학교), 변종민(서울과학기술대학교), 김영도(한양대학교)

C1-4

10:30~10:50

고변형 소성가공시 Cp-Ti의 미세조직 및 집합조직 평가

방승국, 류동희(한국생산기술연구원/고려대학교), 이정훈(한국생산기술연구원), 남산(고려대학교), 강이승(한국생산기술연구원)

C1-5

10:50~11:10

스퍼터 타겟용 고순도 Al 소재의 집합조직에 미치는 압하율의 영향에 대한 연구

김선기(나이스엘엠에스), 하성호(한국생산기술연구원), 김영균(고등기술연구원), 김영직(성균관대학교), 이진규(나이스엘엠에스)