2021 한국분말재료학회 춘계학술대회

심포지엄 1

Symposium 1. 디스플레이용 스퍼터 타켓 소재 및 응용
Organizer : 김휘준 박사 (KITECH), 박은수 박사(㈜이엠엘)

4월 1일(목) 10:00~10:20
박은수 박사 ㈜이엠엘
디스플레이용 고순도 Mo 및 Mo합금 스퍼터링 타겟 기술 개발
Abstract

4월 1일(목) 10:20~10:40
박천웅 박사 (한양대학교)
기계화학적 공정을 통해 제조된 나노 Mo 분말의 소결 특성 연구
Abstract

4월 1일(목) 10:40~11:00
김승겸 박사 (㈜세원특수금속)
고순도 Mo 및 Mo 합금 스퍼터링 타겟의 압연 및 열처리 특성
Abstract

4월 1일(목) 11:00~11:20
노구원 박사 (㈜이엠엘)
Mo 스퍼터링 타겟의 열간 압연시 미세 조직과 집합 조직의 변화
Abstract

4월 1일(목) 11:20~11:40
이찬재 박사 (한국전자기술연구원)
플렉서블 디스플레이를 위한 금속 전극의 변형 안정성 분석
Abstract

4월 1일(목) 11:40~12:00
박동열 박사 (㈜아바코)
고순도 Mo 타겟의 스퍼터링 공정 및 증착막 특성 평가
Abstract